飞秒激光加工系统
产品名称:飞秒激光加工系统
产品型号: UMW
产品品牌: Clark-MXR
产品特点: 
  • 超过20年的研发经验,全球数十位使用客户;
  • 工作激光器可选:高稳定性、低噪声大功率飞秒光纤激光器(>20W) 和高稳定性、低噪声高脉冲能量钛蓝宝石飞秒激光器(>2mJ);
  • 超精密多轴移动位移台和扫描系统,高稳定性花岗石基座;
  • 精密光路传输、自动快速聚焦、高分辨率视觉检测观察系统和全软件操作控制;
  • 适合各类半导体材料、金属、陶瓷、玻璃微加工和内部结构微处理;
 
产品主要参数:
 
X,Y Axis
Max. Travel: 300mm; Repeatability: 0.5um; Accuracy: 1.0um; Max.Velocity: 5cm/sec;
 
Z Axis
Max. Travel: 100mm; Repeatability: 1.0um; Accuracy: 1.0um; Max.Velocity: 5cm/sec;
 
Vision System
Zoom Lens: 12X;
Field of View: 4mm;
Resolution: 1um;
Lighting: LED Ring and Coaxial Light

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