准分子激光器
产品名称:短脉冲准分子激光器
产品型号: ATLEX
产品品牌: ATL Lasertechnik GmbH
ATL Lasertechnik GmbH公司成立于1993年,并于1994年在生产世界上第一台紧凑、高重频、短脉冲准分子激光器时取得了在紫外激光技术上的突破。并在后续的系列产品开发中取得创新型的成就,到目前为止,ATL的准分子产品已处于世界领导水平,并获得了预电离及发射等领域的专利。后续ATL公司会继续致力于紧凑的,短脉冲准分子激光器的开发,以保持在该行业的领先水准。


产品外观图


典型的均匀光斑形貌


微加工系统


产品特点:

全部实现风冷,无需水冷;
结构紧凑,脉冲频率高,最高重复频率到1kHz;
全新技术金属-陶瓷腔体;
光束均匀性好
集成的真空泵和卤素滤光片
激光头体积3L
提供能量稳定模式,保证能量稳定输出;


应用:

微加工
激光融蚀
医学(眼睛手术)
光谱
计量
光纤布拉格光栅刻写


性能参数

ATLEX-300-I 参数

ATLEX-300-I 参数
气体介质F2ArFKrFXeClXeF单位
波长157193248308351nm
高压开关技术固态开关 
最大脉冲能量11101587mJ
最大平均功率0.22.44.02.01.7W
最大重复频率300Hz
脉宽25-8ns
光斑尺寸(V*H)4*6mm
光束发散角(V*H)1*2mrad
能量稳定性3%
尺寸(L*W*H)540*470*370mm
重量60kg
制冷风冷 
供电要求230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz 

1)在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
2)典型值,半高全宽(FWHM)

ATLEX-500-I 参数


ATLEX-500-I 参数
气体介质F2ArFKrFXeClXeF单位
波长157193248308351nm
高压开关技术固态开关 
最大脉冲能量11101587mJ
最大平均功率0.54.06.53.02.5W
最大重复频率500Hz
脉宽25-8ns
光斑尺寸(V*H)4*6mm
光束发散角(V*H)1*2mrad
能量稳定性3%
尺寸(L*W*H)540*470*370mm
重量60kg
制冷风冷 
供电要求230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz 

1)在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
2)典型值,半高全宽(FWHM)

ATLEX-1000-I 参数


ATLEX-1000-I 参数
气体介质ArFKrF单位
波长193248nm
高压开关技术固态开关
最大脉冲能量11015mJ
最大平均功率4.06.5W
最大重复频率1000Hz
脉宽25-8ns
光斑尺寸(V*H)4*6mm
光束发散角(V*H)1*2mrad
能量稳定性3%
尺寸(L*W*H)540*470*370mm
重量60kg
制冷风冷 
供电要求230 VAC/10A/1 phase/50-60Hz 

1)在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
2)典型值,半高全宽(FWHM)

ATLEX-300-FBG 参数


ATLEX-300-FBG 参数
气体介质ArFKrF单位
波长193248nm
高压开关技术固态开关
最大脉冲能量11015mJ
最大平均功率2.44.0W
空间相关性(垂直方向)300300um
最大重复频率300Hz
脉宽25-8ns
光斑尺寸(V*H)4*6mm
光束发散角(V*H)1*2mrad
能量稳定性3%
尺寸(L*W*H)540*470*370mm
重量60kg
制冷风冷 
供电要求230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz 

1)在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
2)典型值,半高全宽(FWHM)

ATLEX-500-FBG 参数


ATLEX-500-FBG 参数
气体介质ArFKrF单位
波长193248nm
高压开关技术固态开关
最大脉冲能量11015mJ
最大平均功率4.06.5W
空间相关性(垂直方向)300300um
最大重复频率500Hz
脉宽25-8ns
4*6mm
光束发散角(V*H)1*2mrad
能量稳定性3%
尺寸(L*W*H)540*470*370mm
重量60kg
制冷风冷 
供电要求230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz 
1)在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
2)典型值,半高全宽(FWHM)

ATLEX-LR 参数


ATLEX-LR 参数
气体介质ArF单位
波长193nm
最大脉冲能量112mJ
最大稳定输出能量10mJ
脉宽25Ns
光斑尺寸(V*H)4*6mm
光束发散角(V*H)1*2mrad
能量稳定性2%
尺寸(L*W*H)540*470*370mm
重量60kg
制冷风冷 
供电要求230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz 

1)在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
2)典型值,半高全宽(FWHM)


      
 ATLEX-I     ATLEX-1000-I

      
ATLEX-FBG    ATLEX-S
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