产品名称:高压取样系统
产品型号: PPR
产品品牌: SRS
PPR过程监控系统是过程监测和诊断的真空检测仪。两种不同的进气路径提供给残余气体分析仪(RGA):一路高压进气模式用来检测基本真空,一路分压模式用来检测过程压力。压力减少路径包含一个微小孔径,其目的是使运行压力工作在0.01,0.1,1或10Torr。 它使待测压力环境满足RGA的工作要求约10-6 Torr。 这种压力控制系统是由涡轮分子的混合泵和隔膜甭组成。 两台泵为无油工作,不会污染您的操作系统。
PPR进气接口链接到被检测的过程检测系统有几种方法(见附图)。 该系统包括RGA,旁通阀和三通,控制器,涡轮泵,隔膜泵,和Windows 软件程序进行数据采集和控制。
该软件可用于多种模式,包括模拟扫描,直方图模式,压力与时间模式。双路法拉第杯和电子倍增器检测器,电子倍增器提供更高的灵敏度和较高的扫描速度。PPR系统出厂时组装完全和校准,可便捷的连接到真空系统中。


主要性能
  • 0.01, 0.1, 1.0 或 10 Torr进口压力
  • 3 × 10-5 Torr-L/s流量
  • 2秒的响应时间(0.1Torr)
  • 100、200或300amu系统
  • 现场可替换的电子培增管和灯丝
  • 6个数量级动态范围
  • RGA的Windows软件 

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