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ARS的闭循环低温探针台
这款探针台可实现非损坏样品的测试环境,具有最优化灵活性的特点,依据用户的要求进行改进和升级配置。
低温探针台最核心的制冷部分采用ARS公司的DE204或DE210闭循环制冷机。通过选择模式不同,可实现制冷温度到13K,10K或7K。ARS公司所有的闭循环制冷机在一阶制冷阶段均采用快速制冷设计、高辐射的热负荷损耗快。在第一阶段让高冷却能力与固有的低振动气动 GM制冷机驱动能力相结合,从而使这款仪器成为应用的理想选择。
该系统可提供一个宽敞,干净的样品真空室环境。真空室是由不锈钢焊接和辐射屏组成,其中辐射屏为镀镍无氧铜材料。低镀镍发射率和高导电性铜可以在一个低温的辐射屏和较大的制冷样本空间中工作。高真空元件的质量是至关重要的,因为它要求有更高层次和更清洁的真空样品,以实现更好的电接触。
ARS通过把探针台和制冷机合二为一的设计方式可实现更多的性能,同时又利于统一的诊断以及系统的整体服务。



典型配置:
•DE204闭路循环制冷机(4K *,5.5K *,或 10K *),包括压缩机和10英尺的柔性软管 
•直径为10英寸不锈钢真空室,包括6个微型操作探头端口和2个备用附件端口,装在一个经过阳极化处理的铝台顶部。
•直径为8英寸镀镍无氧铜辐射罩
•直径为2.25英寸接地样品架 
•三级减震系统使样品台振动<1μm
• XYZ方向上6个微型操作探针
•直流,微波或光纤探针
•温度控制器通过连接电缆控制和检测4个温度传感器以及2个加热器
•7:1变焦显微镜< 1 μm分辨率和同轴或环形灯, 包括24英寸高分辨率宽屏液晶显示。



应用
•微波性能
•直流、射频性能                           
•微机电系统(MEMS)
•纳米电子学
•超导电性
•纳米电路的电学和光学性质
•量子学
•非破坏器件测试

制冷工艺
DE-204 / DE-210闭循环制冷系统
制冷类型充气式GM循环
Liquid Cryogen UsageNone, Cryogen Free
真空腔体
材质不锈钢无缝焊接
直径10” (254 mm)
探针端口6 (standard)
7 or 8 available upon request
其余配件端口(2) NW-80 Flanges installed with blanks
封盖可移动封盖,石英光窗。
表面处理29” x 36” 阳极电镀铝平台
光纤接入 
光窗材料高淳石英
光窗尺寸2.75” (69 mm)
光窗可视范围2.5” (63 mm)
辐射罩
 镀镍无氧铜处理
直径8” (203 mm)
端口8 (standard)

封盖可移动封盖,蓝宝石光窗。
封装1st stage of Cryocooler
样品架
接地处理2.25” Diameter (standard)
电气隔离2.25” Diameter (Optional)
同轴电缆 (Biased)2.25” Diameter (Optional) 包含BNC接线到样品台
三同轴电缆 2.25” Diameter (Optional) 包含三通轴电缆接线
*用户可根据要求定尺样品架







温度范围
DE-204AF*< 10K - 350K
样品实际温度~13K - 400K
DE-204PF*< 5.5K - 350K
样品实际温度~10K - 400K
DE-210SF*< 3K - 350K
样品实际温度~7K - 400K
With 500K InterfaceAdd ~3K - 500K
With 800K InterfaceAdd ~3K - 800K
稳定性0.1K
(Can tune better with PID Control)
*空载时测试的温度














平移台
驱动方式直接驱动
波纹管不锈钢材质,边缘处理
转向 
X-Motion (Axial)2” (50 mm) Standard
Y-Motion (Lateral)1” (25 mm) Standard
 2” (50 mm) Optional
Z-Motion (Vertical)0.5” (12.5 mm) Standard
刻度10 micron
灵敏度5 micron

 
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