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LightMachinery公司成立于2002年，前身为Lumonics公司。2008年收购了英国GSI公司全套准分子激光产品线，成为了最著名的大型准分子激光供应商。 |
1. 一体化金属陶瓷腔技术，保证长的气体寿命及激光腔寿命
2. 腔内气体净化装置及软预电离技术保证高质量的激光光斑输出及稳定的激光能量输出
3. 重载光学支架及专利的keyed-optic design 保证了激光光点的稳定性光学元件的稳固性
IPEX系列产品
|
IPEX-840系列
|
型号
|
工作气体
|
|
|
|
ArF
|
KrF
|
XeCl
|
XeF
|
|
波长(nm)
|
|
193
|
248
|
308
|
351
|
|
最大脉冲能量(mJ)
|
IP-848/846
|
200
|
400
|
250
|
225
|
|
最大平均功率(W)
|
IP-848
|
40
|
80
|
50
|
45
|
|
IP-846
|
20
|
40
|
25
|
22
|
|
最大重复频率(Hz)
|
IP-848
|
200
|
200
|
200
|
200
|
|
IP-846
|
100
|
100
|
100
|
100
|
|
脉冲宽度(ns)
|
|
12-20
|
|
光斑大小(mm)
|
|
12×26
|
|
发散角(mrad)
|
|
1×3
|
|
 |
|
IPEX-860系列
|
型号
|
工作气体
|
|
|
|
KrF
|
XeCl
|
XeF
|
|
波长(nm)
|
|
248
|
308
|
351
|
|
最大脉冲能量(mJ)
|
IP-866/864
|
600
|
350
|
300
|
|
最大平均功率(W)
|
IP-866
|
60
|
35
|
30
|
|
|
IP-864
|
30
|
17
|
15
|
|
最大重复频率(Hz)
|
IP-866
|
100
|
100
|
100
|
|
|
IP-864
|
50
|
50
|
50
|
|
脉冲宽度(ns)
|
|
12-20
|
|
光斑大小(mm)
|
|
8-12×27
|
|
发散角(mrad)
|
|
1×3
|
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应用：DWDM应用的布拉格光纤光栅的刻写，电路板修复，坚硬材料如金属、陶瓷的微加工，薄的金属膜层的图案刻画，医用塑料如聚亚安酯输尿管的加工，PLD等。 |
PulseMaster系列产品
|
PulseMaster-840系列
|
型号
|
工作气体
|
|
|
|
ArF
|
KrF
|
XeCl
|
XeF
|
|
波长(nm)
|
|
193
|
248
|
308
|
351
|
|
最大脉冲能量(mJ)
|
PM-848/846/844/842
|
230
|
450
|
300
|
275
|
|
最大平均功率(W)
|
PM-848
|
30
|
80
|
50
|
45
|
|
PM-846
|
15
|
40
|
25
|
22
|
|
PM-844
|
6
|
20
|
12
|
11
|
|
PM-842
|
3
|
10
|
6
|
6
|
|
最大重复频率(Hz)
|
PM-848
|
200
|
200
|
200
|
200
|
|
PM-846
|
100
|
100
|
100
|
100
|
|
PM-844
|
50
|
50
|
50
|
50
|
|
PM-842
|
25
|
25
|
25
|
25
|
|
脉冲宽度(ns)
|
|
12-20
|
|
光斑大小(mm)
|
|
8-12×26
|
|
发散角(mrad)
|
|
1×3
|
|
PulseMaster-860系列
|
型号
|
工作气体
|
|
|
|
ArF
|
KrF
|
XeCl
|
XeF
|
|
波长(nm)
|
|
193
|
248
|
308
|
351
|
|
最大脉冲能量(mJ)
|
PM-866/864
|
250
|
650
|
400
|
350
|
|
最大平均功率(W)
|
IP-866
|
10
|
30
|
20
|
18
|
|
IP-864
|
5
|
15
|
10
|
9
|
|
最大重复频率(Hz)
|
IP-866
|
50
|
50
|
50
|
50
|
|
IP-864
|
25
|
25
|
25
|
25
|
|
脉冲宽度(ns)
|
|
12-20
|
|
光斑大小(mm)
|
|
12×27
|
|
发散角(mrad)
|
|
1×3
|
准分子激光应用：
 |
小型准分子激光器
ATL是专门生产准分子激光器的公司，性能稳定、操作简单、性价比高而备受科研和眼外科、激光微加工设备厂家和科研用户的青睐。
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主要优点：
1. 采用高品质光腔材料，减少清洗次数，独特的设计大大缩短每次腔镜清洗的时间。
2. 有恒定能量、恒定电压两种激光输出控制方式。激光器自动充、换气体，保证稳定的能量输出，并带有检测装置。
3. 采用空气制冷，操作更简单方便。
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气体介质
|
F2
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ArF
|
KrF
|
XeCl
|
XeF
|
|
波长
|
157nm
|
193nm
|
248nm
|
308nm
|
351nm
|
|
最大脉冲能量
|
1mJ
|
13mJ
|
20mJ
|
10mJ
|
7mJ
|
|
最大平均功率
|
0.5W
|
6W
|
10W
|
5W
|
2.5W
|
|
最大重复频率
|
300Hz/500Hz
|
|
脉冲宽度
|
4-6ns
|
|
光斑尺寸
|
4x6mm
|
|
光束发散角
|
2x1 mrad
|
|
能量稳定性
|
3%
|
|
外形尺寸
|
540x470x370mm
|
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