比利时OPTEC公司是专门生产准分子激光微加工系统的公司，其MicroMaster和ProMaster激光直写系统可以直接将用户的CAD图形加工于工件上，我们将其比喻为“激光数控微加工机床”。其特点是：灵活机动；工艺简便；维护简单；高自动化；特别适合加工塑料、玻璃、陶瓷，金属及金属氧化物膜，有机膜等难以微加工的材料。本系统是高端微加工科研和中小批量激光微加工的首选。
MicroMaster科研，工业用准分子激光微加工系统
系统特点：
1. 采用ATL的300Hz高重复频率的193或248nm准分子激光器：适合激光直写，快速刻蚀图形
2. 激光器维护简便，运行费用低
3. 专利的LightDeck光路系统，精密灵活的操纵控制
4. 高精度电控x-y扫描平台,和z轴自动聚焦控制 |
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应用：
1. 微孔，微槽加工，微小工件加工
2. MEMS，MOEMS器件研发与生产（非硅器件）
3. 医学微流量缓释，电泳微流槽 |
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4. OLED聚合物、金属膜选择性去除
5. 光纤包层等有选择性去除
6. 微米、纳米科学研究
7. 陶瓷、聚酯物、玻璃、金属膜等材料微加工
8. LLO激光剥离 |
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ProMaster超小型、高性能准分子激光微加工系统
比利时OPTEC公司和德国ATL公司共同研制的适合研究应用的
准分子激光微加工系统，其产品的最大优点室在保证卓越的功能
的基础上实现了超小型化设计，非常适合于各种科研应用及小批
量生产应用。 |
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