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德国Xiton深紫外激光器:赋能半导体与先进微加工

发布人: 发布时间:2026-04-30

德国精工激光,硬核落地中国!先锋泰坦代理的德国 Xiton Photonics 提供深紫外、单纵模窄线宽、高功率固体激光器全系列产品,以超高稳定性与精密性能,深度赋能半导体检测、光纤光栅刻写、晶圆隐形划片、光学计量等应用领域,为国内用户带来一站式德国原厂激光解决方案。

▌IXION 193-SLM:193nm单纵模深紫外

 

 

特点:

• 使用简便:用户只需在图形化的软件界面上即可完成操作;

• 可适应7天24小时工业化应用;

• 窄线宽,长相干长度;

• 标准输出193.368nm,下单前可提前定制190-195nm范围间任意波长值;

• 波长在10pm(80GHz)范围内可调谐;

• 可增配内置波长计监测波长调谐的绝对值。

应用:半导体掩模检测、193nm光学系统校准、准分子激光器带宽控制、高精度光谱仪标定。

▲光谱仪校准

参数:

▌IMPRESS 213/214:深紫外纳秒固体激光器

相较于传统气体激光器,具备寿命长、功耗低、机身紧凑、免频繁维护的核心优势,可满足7×24小时不间断工业量产需求,稳定性显著优于同类产品。

特点:实现SMF28光纤无氢载FBG刻写,突破传统工艺局限,大幅提升光纤光栅刻写效率与成品良率,降低生产环节的能耗与成本。

应用:FBG 刻写、钻石打标、波长敏感处理、立体光刻、半导体检测、替代倍频氩离子激光器、光致发光。

参数:

 

▌IDOL/IXDICE 系列:二极管泵浦纳秒固体激光器

二极管泵浦纳秒固体激光器IDOL系列产生特殊的1342nm 波长及其倍频(671nm)、三倍频(447nm),其中1342nm 特别适合硅材料处理如隐形划片、集成电路修剪,而671nm、447nm则在显示平板修补领域有广泛应用。

应用:显示面板修补、隐形划片、波长敏感处理、硅材料处理、微加工。

参数:

▌SLM/EXCITE系列:单纵模窄线宽全波段

覆盖1064nm、532nm、355nm、266nm、213nm全主流波长,可实现单纵模稳定输出,核心优势在于超窄线宽、高相干性、极低脉冲波动,适配多领域高精度场景。