先锋泰坦 248nm KrF 准分子激光器 ATLEX-500-I 国内现货全面供应!
先锋泰坦248nm KrF准分子激光器ATLEX-500-I-248(8mJ@248nm,500Hz) 国内现货,无需海外排单排产,标准订单整体货期仅2周,快速交付!助力高校科研,微加工、薄膜剥蚀、光刻实验等项目高效落地。

ATLEX-500-I-248准分子激光器性能指标:
|
准分子气体 |
KrF |
单位 |
|---|---|---|
|
波长 |
248 |
nm |
|
高压开关技术 |
固态开关 |
|
|
最大脉冲能量 |
15 |
mJ |
|
稳态脉冲能量 |
8 |
mJ |
|
稳态平均功率 |
4 |
W |
|
最高重复频率 |
500 |
Hz |
|
脉冲宽度 |
5 - 8 |
ns |
|
光斑尺寸 (V x H) |
4 x 6 |
mm |
|
激光发散角 (V x H) |
1 x 2 |
mrad |
|
能量稳定性 (Stand. Dev.) |
< 2 |
% |
|
激光器尺寸 (L x W x H) |
540 x 470 x 370 |
mm |
|
激光器重量 |
60 |
kg |
|
冷却形式 |
风冷/水冷 |
|
|
电源需求 |
230 VAC / 10 A / 50-60 Hz / 单向电 |
|
另:ATLEX-1000-L-193(4mJ@193nm,1000Hz)准分子激光器同步有售。

ATLEX-1000-L-193准分子激光器性能指标:
|
准分子气体 |
ArF |
单位 |
|---|---|---|
|
波长 |
193 |
nm |
|
高压开关技术 |
固态开关 |
|
|
最大脉冲能量 |
8 |
mJ |
|
稳态脉冲能量 |
4 |
mJ |
|
稳态平均功率 |
4 |
W |
|
最高重复频率 |
1000 |
Hz |
|
脉冲宽度 |
5 - 8 |
ns |
|
光斑尺寸 (V x H) |
6 x 4 |
mm |
|
激光发散角 (V x H) |
2 x 1 |
mrad |
|
能量稳定性 (Stand. Dev.) |
<3 |
% |
|
激光器尺寸 (L x W x H) |
600 x 415 x 572 |
mm |
|
激光器重量 |
80 |
kg |
|
冷却形式 |
风冷/水冷 |
|
|
电源需求 |
230 VAC / 10 A / 50-60 Hz / 单向电 |
|
先锋泰坦独家代理 ATLEX-500-I-248nm KrF 准分子激光器,该设备源自德国精密激光制造企业ATL公司匠心研发,是一款紧凑型风冷高重频深紫外科研光源,广泛应用于高校微加工、薄膜剥蚀、光刻实验、激光质谱分析等前沿科研场景。


























































































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