62xx-83xx高速激光振镜模块
- 62xx-83xx
Novanta公司旗下的英国Cambridge Technology利用其强大的位置检测与控制技术，出品的高速62xz系列激光振镜模块，在做到业内*快的扫描速度同时保持高度的稳定性，可以适合大部分应用的需要，而83xx系列高速激光振镜模块更进一步压制了温度漂移，更适合于要求苛刻的微加工或宽场加工场合。
共同特点：
- 业内*快的扫描速度，在保证长时间稳定性同时达成*高产率
- 高准确度输出，满足各种应用的扫描需求
- 长使用寿命和长时间稳定性
- 结构紧凑适合小空间集成
- 可装配3-50mm尺寸反射镜，丰富的高反射镀膜选项
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型号 |
6200K 8300K
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6210K 8310K
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6215K 8315K
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6220K 8320K
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6230K 8330K
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6231K 8331K
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6240K 8340K
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6250K 8350K
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6260K 8360K
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建议孔径 |
3-7 mm |
3-7 mm |
3-7 mm |
5-10 mm |
8-15 mm |
8-15 mm |
12-25 mm |
25-75mm |
30-100mm |
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波长选项 |
355nm/532 nm/1030 nm -1080 nm/9.4μm-10.6 μm ；宽谱段镀膜范围:350 nm -12 μm |
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*大扫描角度 |
40° |
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适配伺服控制器 |
模拟系列:671,672,673 ；数字系列:DC900,DC3000 Plus |
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转动惯量 (gm-cm²±10%) |
0.013 |
0.018 |
0.028 |
0.125 |
0.97 |
0.82 |
2.4 |
15.6 |
47.5 |
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扭矩常数(dynecm/amp,±10%) |
1.20x10⁴ |
2.79x10⁴ |
3.78x104 |
6.17x10⁴ |
1.31x10⁵ |
1.11x10⁵ |
2.0x10⁵ |
7.08x10⁵ |
8.5x10⁵ |
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最高转子温度 |
110℃ |
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热阻 （转子至机箱） |
3.8 ℃/W |
2.0 ℃/W |
1.0 ℃/W |
1.0 ℃/W |
0.8 ℃/W |
1.0 ℃/W |
0.62 ℃/W |
0.35℃/W |
0.2 ℃/W |
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线圈电阻 (欧姆±10%) |
2.14 |
3.7 |
2.5 |
2.79 |
1.07 |
1.27 |
1.03 |
1.69 |
0.60 |
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线圈电感(μH±10%) |
52 |
109 |
94 |
180 |
173 |
176 |
350 |
1030 |
530 |
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反 EMF 电压(μW//秒,±10%) |
20.9 |
48.7 |
66 |
108 |
229 |
195 |
346 |
1220 |
1480 |
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*大RMS电流(安培； 外壳温度=50℃,)
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2.3 |
2.4 |
4.1 |
3.9 |
7.1 |
5.8 |
8.2 |
71 |
12 |
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峰值电流(安培,*大） |
6 |
8 |
20 |
20 |
25 |
25 |
25 |
20 |
40 |
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重量 |
13.3 g |
18 g |
25.8 g |
42.5 g |
267 g |
142 g |
356 g |
590 g |
1200 g |
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位敏指标 |
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线性度 |
*小99.9%, 在20°扫描范围内 |
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典型99.5% ，在 40°扫描范围内 |
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短期重复度 |
8 μrad |
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输出信号（常规模式） |
155μA(±25%) 当 AGC 电流为 25 mA 时 |
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输出信号（差分模式） |
12μA/°(±5%) 当常规模式电流为155 μA时 |
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62xxK系列振镜模块与83xxK系列振镜模块的区别 |
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最大比例漂移 |
62xxK:50 ppm/°C |
83xxK:15 ppm/℃ |
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最大零点漂移 |
62xxK:15 μrad/℃ |
83xxK:5μrad/℃ |
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13810233784
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