准分子激光器ATLEX-FBG
简 述：
ATLEX-FBG 系列专为FBG 刻写设计，具备较好的空间相干性指标。ATLEX-FBG 共300、500 两个型号。
品 牌：
产品型号：
- ATLEX-FBG
ATLEX-FBG 系列专为FBG 刻写设计，具备较好的空间相干性指标。
产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求：
• 软电晕预电离
• 全固态高压脉冲发生器
• 激光头容积 ：3L
• 全金属- 陶瓷管路
• 集成真空泵及卤素过滤器
• 全风冷，主动热管理
• RS485，RS232，USB 以及光纤接口
• 易于清洁维护的紫外镜片与光具座
• 能量稳定模式
主要应用：
- FBG布拉格光纤光栅制备
- 激光微加工
ATLEX-FBG 系列准分子激光器
ATLEX-FBG 系列专为FBG 刻写设计，具备较好的空间相干性指标。ATLEX-FBG 共300、500 两个型号。
ATLEX-FBG性能指标：
|
准分子气体 |
ArF |
KrF |
单位 |
|---|---|---|---|
|
波长 |
193 |
248 |
nm |
|
高压开关技术 |
固态开关 |
|
|
|
最大脉冲能量 |
8 |
15 |
mJ |
|
稳态脉冲能量 |
4 |
8 |
mJ |
|
稳态平均功率 - ATLEX-300-FBG |
1.2 |
2.4 |
W |
|
稳态平均功率 - ATLEX-500-FBG |
2 |
4 |
W |
|
最高重复频率 - ATLEX-300-FBG |
300 |
Hz |
|
|
最高重复频率 - ATLEX-500-FBG |
500 |
Hz |
|
|
脉冲宽度 |
5 - 8 |
ns |
|
|
光斑尺寸 (V x H) |
4 x 6 |
mm |
|
|
激光发散角 (V x H) |
1 x 2 |
mrad |
|
|
能量稳定性 (Stand. Dev.) |
< 2 |
% |
|
|
激光器尺寸 (L x W x H) |
540 x 470 x 370 |
mm |
|
|
激光器重量寸 |
60 |
kg |
|
|
冷却形式 |
风冷/水冷 |
|
|
|
电源需求 |
230 VAC / 10 A / 50-60 Hz / 单向电 |
|
|
13810233784
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