准分子激光器ATLEX-I
简 述：
ATL 提供ATLEX、专用于FBG 刻写的ATLEX-FBG 系列，低负荷的ATLEX-LR 系列，以及非常紧凑的ATLEX-S 系列。
品 牌：
德国 ATL Lasertech
产品型号：
- ATLEX-300-I
- ATLEX- 500-I
- ATLEX-1000-I
德国ATL Lasertech 公司专业生产小型化、高重频、短脉冲准分子激光器。
主要应用于：
• 眼科手术
• 玻璃及塑料微加工
• 微制造
• 激光剥蚀
• TOF 质谱
• FBG 刻写
ATL 提供ATLEX、专用于FBG 刻写的ATLEX-FBG 系列，低负荷的ATLEX-LR 系列，以及非常紧凑的ATLEX-S 系列。
产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求：
• 软电晕预电离
• 全固态高压脉冲发生器
• 激光头容积 < 3L
• 全金属- 陶瓷管路
• 集成真空泵及卤素过滤器
• 全风冷，主动热管理
• RS485，RS232，USB 以及光纤接口
• 可冲洗光具座
• 能量稳定模式
ATLEX-I 系列准分子激光器
ATLEX-I 依据重复频率的不同， 分为ATLEX-300-I、ATLEX-500-I、ATLEX-1000-I 三个型号。
ATLEX-I 系列技术参数
|
增益介质 |
F2 |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
|
|
波长 (nm) |
157 |
193 |
248 |
308 |
351 |
|
|
高压开关技术 |
固态开关 |
|||||
|
|
1 |
10 |
15 |
8 |
7 |
|
|
*高平均功率 (W) |
ATLEX-300-I |
0.2 |
2.4 |
4.0 |
2.0 |
1.7 |
|
ATLEX-500-I |
0.5 |
4.0 |
6.5 |
3.0 |
2.5 |
|
|
ATLEX-1000-I |
N/A |
8 |
10 |
N/A |
N/A |
|
|
*高重频 (Hz) |
ATLEX-300-I |
300 |
||||
|
ATLEX-500-I |
500 |
|||||
|
ATLEX-1000-I |
1000 |
|||||
|
脉冲宽度 (ns) |
5 - 8 |
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|
光束尺寸 (mm) |
4×6 |
|||||
|
光束发散角 (mrad) |
1×2 |
|||||
|
能量稳定性 (rms) |
3% |
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|
外形尺寸 (mm, L×W×H) |
540×470×300 |
|||||
13810233784
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